示蹤氣體是在研究空氣流動時可以與空氣混合的氣體的總稱，可以在非常低的濃度下測量而本身沒有任何變化。示蹤氣體包括氯仿、二氧化氯、過氧乙酰硝酸酯、氧化氮、二氧化硫、氡氣和汞。由于示蹤氣體的總量非常小，它們的變化范圍可能非常大。空氣成分中變化最大的是二氧化碳，自工業化開始以來，其濃度增加了約40%。

　　

　　示蹤氣體監測系統提供部件排空、測試壓力、總泄漏測試、示蹤氣體回填，并執行排氣過程。集成了一個易于跟蹤的氣體泄漏測試系統，它可以與大多數質譜儀通信，并為過程控制提供測試結果管理。此外，可以控制泄漏測試系統中使用的基本機器功能，如工具運動控制和條形碼掃描。如果需要更復雜的機器排序，它可以與基于PLC或PC的控制系統集成，提供更過程控制。
 

　　

　　用示蹤氣體監測系統檢測泄漏的操作步驟如下。

　　

　　1、將示蹤氣體壓力調節閥調整到適當的壓力。如果將調整好的噴嘴浸入水中，每秒鐘會產生2-5個氦氣泡。

　　

　　2、在任何時候，首先檢查真空系統中要消除的部件與質譜儀檢漏儀的測試氣口之間的所有管道（如配件、管道等）的連接情況。

　　

　　3、從系統或部件的最高點往下開始檢測，以減少氣體漂移。記住，氨氣是一種非常輕的氣體，會上升。

　　

　　4、大面積漏氣檢測。

　　

　　在所有表面、接頭和管道上快速移動探頭，在大面積上噴氦氣。如果檢漏儀沒有反應，說明系統是真空密封的，沒有漏氣。如果檢漏儀有反應，等待檢漏儀恢復（排空氦氣），然后確定泄漏位置。

　　

　　注意：噴灑過多的氦氣會增加真空室中空氣的背景含量，導致質譜儀檢漏儀的基數增加。如果過量的氨氣被噴到真空室外，可以用壓縮空氣來驅散它。如果真空系統中的氨氣已經飽和，應使用氮氣或氬氣進行沖洗。

　　

　　5、縮小泄漏范圍的方法（泄漏的局部位置）。